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了解并减少粒子计数器结果的变异性

洁净室内往往需要使用多台不同设计参数和显示设置的粒子计数器来维持洁净度。通常情况下，工作人
员会使用多台ISO 14644-1标准的光学粒子计数器来报告空气中的颗粒物数据。本文总结了洁净室工作人员用不同气体颗粒计数器报告数据的比较和分析。只有了解不同计数器之间的差异并进行适当的换算才能进行有意义的比较。此外，还大致介绍了光学粒子计数器 (OPC)在统计过程控制 (SPC)中的应用以及在采用不同计量仪器计数时如何运用SPC统计数据。

凝结核粒子技术器优化半导体设备中的悬浮纳米粒子检测

随着对产品良率的日益关注，特别是在采用先进技术节点的制程上，用户对于机台内部的纳米颗粒监控的需求日益提升鉴于此，PMS推出了可监测小至10纳米粒子的全新NanoAir™ 10 凝结核粒子计数器(CPC)以及首款专为处理纳米粒子传输而设计的—ParticleSeeker™多口气溶胶采样器。该产品将解锁新的
监测可能性，从而为行业当前存在的盲区和需求提供了可能的解决方案。