紧凑型设计，适用于半导体工艺设备内部监测，占用空间小。产品细节
采用NanoAir™ 10凝结核粒子计数器（CPC），有效降低关键区域的污染，提升良品率。
这是唯一专为纳米颗粒运输和输送设计的歧管系统。
配套的10端口歧管产品（ParticleSeeker™）支持需要对多个样品位置进行顺序或程序化监测的应用场景。
10端口多路复用系统仅需单个CPC即可覆盖整个EFEM/微环境。通过该多路复用系统可实现120平方英尺的覆盖范围。
端口切换时间低至0.1秒，最大限度减少串扰。该多路复用器支持多种运行模式：
- 设备认证
- 工艺/流程追踪
- 集成晶圆厂事件自动响应
- 工艺设备内晶圆追踪
通过我们的FacilityNet颗粒监测软件，数据可快速查看、分析并生成报告，亦可通过MODBUS以太网协议直接传输至第三方SCADA系统或工艺工具。0.1秒的超短采样间隔实现精准控制，并提供可操作的工艺洞察。
当与HPD-III配合使用时，NanoAir 10可实现对10纳米级高压惰性气体的分析，确保进入关键环境的气体具备卓越的颗粒污染控制能力。
