• 在不使用零计数减法方案的情况下，零计数<1.5个计数/立方米
• 10 nm下的计数效率= 50% ± 20%，15 nm下的计数效率= 100% ± 10%
• 占用面积比同类产品小83%（16.5 x 20.2 x 15.2厘米）
• 每年只需在年度校准时补充一次工作流体，在每天24小时及每周7天的全天候操作情况下，补充一次工作流体后可维持15个月
• 灵敏度：≥ 10 nm
• 采样流速：2.8升/每分钟（0.1立方英尺/每分钟）
• IP 地址和位置留在基站中，可实现仪器的“热交换”
• 4-20mA 输入（x4）&输出（x2），用于附加传感器（例如：温度、相对湿度、DAP）
• USB 端口（2）：用于USB串口（服务端口）和U盘
• 以太网端口（2）：用于以太网协议和运行在TCP/IP上的MODBUS
• 上电后20分钟即可运行
• 数据可通过PMS Facility Net设施监控软件予以查看、分析和报送，或直接传输到第三方的监控和数据采集（SCADA）系统或作为制程机台输入值
• 按顺序或编程顺序监测（使用ParticleSeeker 10端口采样器）
• 兼容高压气体
• 适合在ISO 1级环境中使用

• 在同类产品中尺寸最小，可在最关键功能区的制程机台内和拥挤的高压气体分配公用设施板上进行监测
• 工作流体处理系统采用正在申请专利的创新设计，非常稳健、高效，可实现全年、全天候连续运行，无需用户干预，防止采样和数据收集的中断
• 同类最佳的外部容积尺寸，为设计用于制造和制程控制应用场景的凝结粒子计数器设定了标准
• 不使用鞘气，提供容积采样能力
• 在运输、处理和安装过程中，不会出现其它凝结粒子计数器（CPC）在工业场景下常见的非必要流体运移
• 无内泵或风扇；省去维护工作，消除潜在的颗粒生成
• 能够按顺序或编程顺序监测多个采样点

• 制程区域的使用点（POU）监测
• 实时连续的粒子活动监测
• 在半导体制程机台和前端设备模块（EFEM）内部使用

NanoAir + ParticleSeeker （10端口采样器）：

• 在制程机台设备前端模块（EFEM）的微型环境内进行监测
• 完美适用于需按照晶圆片或其他关键表面的路径进行程序化采样点监测的应用场景
• 大面积污染监测，最大120平方米的晶圆厂/制程空间

NanoAir 10 + HPD^™ III （用于高压惰性气体监测）：

• 对惰性高压气体管道进行实时、连续监测，包括压缩空气、氮气、氩气和二氧化碳。