产品细节
消除气泡，确保微粒测量准确，并简化符合SEMI C1标准的化学品工艺控制。
- 可处理多种腐蚀性液体（包括硫酸），适用温度高达150 °C。
- 兼容多款LiQuilaz® 颗粒计数器，粒径范围覆盖 0.2 µm至20 µm，适用于半导体及化学品工艺监测。
- FacilityNet 软件通过SPC控制图、时间曲线图和传感器状态显示，简化在线采样流程。
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SamplerSight 软件支持批次取样、高级数据存储、检索及报告生成。
