20nm化学品粒子计数器：Chem 20™
灵敏度范围：20 - 100 nm
世界上首款20nm化学品粒子计数器，尖端的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品，该粒子计数器需要经过高度过滤，适用于≤20nm的粒子。Chem 20化学品粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度，是目前灵敏度最高的高纯度工艺化学品粒子传感器，也是PMS全系列液体粒子计数器的新产品。
来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明，与其竞争产品相比，具有20nm灵敏度的Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大，数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具，在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前，便能够快速检测化学颗粒源。
Chem 20是来自美国粒子监测系统公司的 “行业领先灵敏度 “产品之一。这意味着在市面上很难找到比这款更灵敏的产品，而只有PMS能提供多种产品系列以满足不同的监测需求。目前，在超纯水、化学品和空气分子污染物监测方面，PMS产品均表现出市场领先的监测性能、灵敏度和可靠性。PMS以卓越知识、技术和服务，为高科技企业和化学制造公司提供最先进的工具，使其能够基于数据做出精准决策，提高业绩和产量。
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产品细节
- 带新增离线采样功能的20nm化学品粒子计数器
- 先进的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm
- 自带化学流量计用于设定样品流量
- 针对不同折射率的化学品进行监测，以提高数据可靠性：
Chem 20：适用于折射率较低的化学品
Chem 20-HI：适用于硫酸和其他折射指数较高的化学品 - 内部泄漏监测：在内部化学品泄漏时提供报警
- 低流量监测器和报警器，以确保数据一致
- 宏观气泡探测器用于保护传感器性能
- 本地数据显示
- 实时监测20 nm PSL和9 nm Au微粒
- 监测影响良率的粒子（竞争技术无法达到）
- 在扫描表面或得到数据之前，快速响应粒子偏移
- 优化化学品输送系统，覆盖从装卸码头到加工节点的整个过程
- 改善样本的数据统计，加强过程工艺控制
- 针对不同洁净度的产品，使用两种视图模式优化仪器操作，拓展产品应用空间
- 传统数据采集系统能够灵活通信
- 便捷的在线和离线20nm监测
- 化学输送系统内的实时粒子监测
- 流程监控点
- 化学包装操作监控
- 化学过滤器性能和效率描述
- 化学处理部件的性能测试
- 化学品质量验证
资源
配件
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