（已停产）化学品粒子计数器：UltraChem® 40

灵敏度: 40 - 125 nm

维修与校准

Contaparticelle per sostanze chimiche

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产品细节

和许多不同的化学物相兼容
灵敏度为40nm
化学物包括：丙二醇甲醚醋酸酯、光刻胶溶剂、氟化氢（HF）和硫酸
2年保修期
固态激光二极管
简单设计
在线或分批采样能力
多种通讯协议

改善数据质量的大采样体积
自适应技术使得设备免受于粒子计数器的大部分光学污染
监测许多不同的化学物中的小粒子，包括高分子散射液体
体积小，可安装于各种位置
快速诊断和随机分配会通知您一个真正的粒子事件

去离子水监测
化学物分布监控
化学物质量保证
浸润式光刻

资源

配件

Facility Net软件

液体安装套件

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