
20 nm液体粒子计数器:Ultra DI® 20 Plus
灵敏度范围:20-100 nm
美国粒子监测系统公司(PMS)推出的Ultra DI® 20 Plus液体粒子计数器,专为超纯水系统而设计,可快速获得有统计意义的数据,并对20 nm的污染物进行计数和尺寸测定。即便仪器移动,也能达到数据一致性,有助于您获得更多统计信息以实现更好的过程控制。Ultra DI 20 Plus液体粒子计数器实现了低零计数、大采样量、高计数效率,可提供粒子对标检测。最小可监测20 nm聚苯乙烯乳胶(PSL)和9 nm金(Au),更高灵敏度可以更快监测出制程变化。
UDI-20是PMS推出的具有行业领先灵敏度的产品之一,这意味着在市面上很难找到比这款更灵敏的产品,而只有PMS能提供多种产品系列以满足不同的监测需求。目前,在超纯水、化学品和空气分子污染物监测方面,PMS产品均表现出市场领先的监测性能、灵敏度和可靠性。PMS以卓越知识、技术和服务,为高科技企业和化学制造公司提供最先进的工具,使其能够基于数据做出精准决策,提高业绩和产量。
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产品细节
- 先进的激光光学技术和传感器能够检测到小至20 nm的粒子(9 nm金)
- 在18至29°C的操作环境下通过对粒子进行热稳定测量,以实现不同仪器间无可比拟的数据稳定性和匹配度
- 每毫升<10个粒子的浓度下,仪器间匹配度在20%以内
- 可与全球各地任何环境条件下多个晶圆厂的超纯水系统性能媲美
- 集群管理器可互换,不会出现中断或产生数据问题
- 两种计数模式:
1)高分辨率——用于高纯净环境;
2)高浓度——用于过滤器挑战测试和低纯净环境; - 通过4-20mA直接连接至可编程控制器(PLC)和监控数据采集(SCADA)系统,并通过以太网通信来利用现有网络
- 粒子计数器数据本地显示
- 该粒子计数器拥有更大样品量和超低的零计数,从而能获取更多相关统计数据来实现更小的误差偏离
- 通过以太网通信来利用现有网络
- 通过4-20mA直接连接至可编程控制器(PLC)和监控数据采集(SCADA)系统
- 与臭氧水兼容
- 采用不锈钢外壳和双HEPA级过滤,供洁净环境下使用
- 全新设计省去了环境保护柜的额外购买价格和维护成本
- 通过实时粒子测量,对污染作出即时反应
- 快速获得有意义的统计数据,以检测粒子的误差偏离,并排除问题
- 快速清理样品,缩短了从一个采样点转移到另一个采样点的时间
- 采用更短采样间隔,加快分析时间
- FacilityNet软件提供更复杂的过程控制
- 通过降低样品间差异来实现更严格的过程控制限值设定
- 对一流的超纯水(UPW)系统中的粒子浓度进行量化
- 过滤器效率测定
- 在更低粒子浓度下进行趋势分析
- 检测超纯水系统中的细菌生长情况
- 偶发事件的跟踪和报警
- 对系统进行连续的粒子监测
- 制造流程控制
资源
配件
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