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20 nm液体粒子计数器:Ultra DI® 20 Plus

灵敏度范围:20-100 nm

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产品细节

  • 先进的激光光学技术和传感器能够检测到小至20 nm的粒子(9 nm金)
  • 在18至29°C的操作环境下通过对粒子进行热稳定测量,以实现不同仪器间无可比拟的数据稳定性和匹配度
  • 每毫升<10个粒子的浓度下,仪器间匹配度在20%以内
  • 可与全球各地任何环境条件下多个晶圆厂的超纯水系统性能媲美
  • 集群管理器可互换,不会出现中断或产生数据问题
  • 两种计数模式:
    1)高分辨率——用于高纯净环境;
    2)高浓度——用于过滤器挑战测试和低纯净环境;
  • 通过4-20mA直接连接至可编程控制器(PLC)和监控数据采集(SCADA)系统,并通过以太网通信来利用现有网络
  • 粒子计数器数据本地显示
  • 该粒子计数器拥有更大样品量和超低的零计数,从而能获取更多相关统计数据来实现更小的误差偏离
  • 通过以太网通信来利用现有网络
  • 通过4-20mA直接连接至可编程控制器(PLC)和监控数据采集(SCADA)系统
  • 与臭氧水兼容
  • 采用不锈钢外壳和双HEPA级过滤,供洁净环境下使用
  • 全新设计省去了环境保护柜的额外购买价格和维护成本
  • 通过实时粒子测量,对污染作出即时反应
  • 快速获得有意义的统计数据,以检测粒子的误差偏离,并排除问题
  • 快速清理样品,缩短了从一个采样点转移到另一个采样点的时间
  • 采用更短采样间隔,加快分析时间
  • FacilityNet软件提供更复杂的过程控制
  • 通过降低样品间差异来实现更严格的过程控制限值设定
  • 对一流的超纯水(UPW)系统中的粒子浓度进行量化
  • 过滤器效率测定
  • 在更低粒子浓度下进行趋势分析
  • 检测超纯水系统中的细菌生长情况
  • 偶发事件的跟踪和报警
  • 对系统进行连续的粒子监测
  • 制造流程控制
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