ParticleSeeker™多端口气溶胶采样器
适用于NanoAir™和0.1 CFM Airnet® II气溶胶粒子计数器的配套歧管
ParticleSeeker是一款配备10个端口的雾化气流分配器，专为配合NanoAir™ 10型及0.1 CFM Airnet® II型气溶胶粒子计数器使用。
该设备专为最关键的晶圆厂空间设计，适用于需要对多个采样点进行顺序或程序化监测的应用场景。ParticleSeeker独特实现了对工艺设备前端模块（EFEM）微环境内部的监测能力。当启用全部10个歧管端口时，ParticleSeeker与NanoAir协同工作可覆盖高达120平方米的晶圆厂/工艺空间监测。
ParticleSeeker兼容NanoAir™及所有0.1 CFM Airnet® II型粒子计数器。
ParticleSeeker™多通道气溶胶采样器安装、维修与维护服务。Particle Measuring Systems公司设计并制造ParticleSeeker™智能多路阀。
产品细节
- 10 个分流点
- 采样流速：0.1立方英尺/每分钟
- 采样间隔：最短1秒，最长3600秒
- 采样覆盖范围：最大120平方米的晶圆厂/制程空间
- LED显示活跃采样端口
- 多种（4种）采样模式
» 集成：同时对所有端口进行采样
» 搜索：针对任何在集成操作中被识别的端口
» 同步：与制程机台进行实时通信，以便在EFEM内跟踪晶圆片
» 用户定义 - 占地面积小：8.2 x 5.4 x 4.7英寸（21x14x12厘米）
- 仪器IP地址和位置
- 干接点继电器（x4）
- 4-20mA输入（x4）&输出（x2），用于附加传感器（例如：温度、相对湿度、DAP）
- 用于U盘的USB
- 以太网端口（2）：以太网协议和运行在TCP/IP上的MODBUS
- 提供120平方米晶圆厂/制程空间的采样覆盖范围
- 市面上唯一一款专为样品纳米粒子（<100 nm）而设计和打造的气溶胶粒子分流器
- 消除了串扰和其他常见的纳米颗粒运输处理问题
- 能够按顺序或编程顺序监测多个采样位置
- 多个输入/输出通信接口，可实现无缝SCADA数据传输，减少制程机台的停机时间
- 直流电源输入和输出，允许NanoAir与ParticleSeeker进行菊花链连接，以共享电源且最大限度减少交流电插座的使用
ParticleSeeker + NanoAir（气溶胶粒子计数器）：
- 在制程机台设备前端模块（EFEM）的微型环境内进行监测
- 完美适用于需按照晶圆片或其他关键表面的路径进行程序化采样点监测的应用场景
- 在启用多个分流端口时，进行大面积污染监测
资源
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