超纯水系统中的粒子监测策略：300mm绝对值

摘要

超纯水(UPW)中粒子引起的工艺故障相对少见，但随着移至300mm晶圆和90nm线宽，它们会产生重大的经济影响。

过去大多数粒子监测策略都集中在使用便携和内联的高灵敏度（0.05微米）粒子计数器。

如今通过结合高灵敏度粒子计数器(至0.03微米)和低灵敏度(0.1微米)计数器(具有很高的样本量)，可以提高性能、跟踪数据趋势和降低成本。

本文详细介绍了尺寸、灵敏度、样品体积和零计数水平对粒子计数性能的影响，以及低滤过和高滤过系统之间的实际监测注意事项和粒子分布差异。

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