液晶面板生产线化学品监测

摘要

Particles Contamination in Chemicals，是指化学品溶液中的悬浮颗粒污染物。在液晶面板制造工艺中，由于产品对颗粒物极其敏感，因此众多液晶面板制造工厂都会对颗粒污染物加以严格的管控，但大多数液晶面板工厂对颗粒污染物的管控，较多的着力点在生产环境空气中颗粒污染物的管控，而忽视了另外一种使用频繁而且直接接触产品表面的危险因素，清洗用的纯水，湿法刻蚀用的各种化学品，如果洁净度不达标，会更快更直接的对产品产生致命的影响。因此对整个生产过程所使用的液体包括纯水和化学品监测就变得异常重要。

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