案例研究：半导体设备中的悬浮纳米粒子计数器NanoAir 10
在半导体行业的高灵敏度区域使用悬浮纳米粒子计数器有助于有效识别和控制污染，从而提高产量。
在洁净室和微环境中监测粒径小至100纳米的粒子， 是半导体行业在先进工厂验证先进制程微污染控制
所采用的一种常见做法。先进制程的晶圆制造商需要在其产品附近监测周边空气粒子以避免粒子污染。
随着对产品良率的日益关注，特别是在采用先进技术节点的制程上，用户对于机台内部的纳米颗粒监控
的需求日益提升……鉴于此，PMS推出了可监测小至10纳米粒子的全新NanoAir™ 10 凝结核粒子计数器
(CPC)以及首款专为处理纳米粒子传输而设计的—ParticleSeeker™多口气溶胶采样器。该产品将解锁新的监测可能性，从而为行业当前存在的盲区和需求提供了可能的解决方案。
半导体设备监测解决方案
NanoAir 10纳米粒子计数器是PMS推出的一款革命性产品。它专为监测超洁净环境而设计，在 2.8 升/分钟（0.1 CFM）的采样流速下可达到10纳米的检测灵敏度。
ParticleSeeker是一款具有10个端口的多口气溶胶采样器，支持需要多个采样位置的应用。该采样器可按顺序或编程顺序使用监测器。
有关 NanoAir 10 冷凝粒子计数器和 ParticleSeeker的概述，请参阅此介绍视频。
光学粒子计数器(OPC)
传统光学粒子计数器(OPC)能够检测到小至100纳米的粒子，其成功案例屡见不鲜，这充分表明了实时监测半导体设备内气溶胶粒子的重要性。在工艺设备内进行实时颗粒检测有助于快速检出可能存在于产品表面并影响良率的粒子。及早预警粒子事件并减少甚至规避粒子对产品质量的任何潜在影响。由于传统OPC只检测小至100纳米的粒子，随着技术的不断进步，检测更小尺寸的粒子成为可能，使得检测可能影响产品性能的纳米粒子日益受到关注。
凝结核粒子计数器(CPC)
凝结核粒子计数器(CPC)是一种用于测量气体介质中微小颗粒的浓度的仪器。通常，该技术可测量的粒子尺寸小于传统OPC所能检测到的范围。 传统OPC受激光技术和样品体积的限制，可测量的粒径一般≥100纳米。