可靠的在线污染物监测

超高纯度气体颗粒计数器: HPGP™ 101-C

采用超高纯气体粒子计数器 HPGP 101-C,提升良率。唯一可靠的在线污染监测方案,支持高达 150 psig 管线压力,确保工艺气体流程顺畅。HPGP 兼容氧气、氢气及大多数无毒气体,适用于多种反应性气体监测场景。

Ticked bullet point 缩短启动及验证时间

Ticked bullet point 延长设备运行时间

Ticked bullet point 降低污染风险,提升产品质量

产品细节

HPGP 101-C 降低污染相关停机风险,提升可靠性与安全性。0.1 – 5.0 µm 灵敏度范围,过程控制更有把握。

快速数据与验证

在污染物影响产品之前迅速识别它们,从而防止产量损失。同时缩短启动和验证工艺或系统所需的时间。

广泛应用

HPGP 101-C确保多种应用场景下的过程控制,数据真实反映工艺条件,即使高压工艺亦不例外。支持高达150 psig气体监测,兼容氧气、氢气及大多数无毒气体,一机多用,减少不同工艺环节的设备投入。亦可用于其他技术不适用的反应性气体场景。

灵敏度范围:0.1-5.0 µm

凭借0.1-5.0 µm的检测范围,可提高产量并降低污染风险。

收集并报告数据

HPGP 101-C搭配我们的粒子数据系统,合规无忧,数据分析更轻松。

Cleanroom staff operating manufacturing equipment and reviewing process data on monitors in a controlled facility.
可靠的在线污染物监测

高压气体采样

了解空气或气体体积、压力与流量之间的基本关系,以及这些关系如何影响颗粒计数。

配件

Particle Data System (PDS-E)

粒子数据系统(PDS-E)

Rack Mount (PDS-E)

框架安装(PDS-E)

FacilityNet™软件

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