超纯水的粒子计数统计

摘要

超纯水系统现在是如此的干净，以至于要量化颗粒浓度是很困难的。当测量水的清洁度时，颗粒的稀缺性会导致统计上的差异，可能比实际的颗粒浓度大。为了减少差异，有效地测量颗粒物污染，需要对颗粒计数统计进行深入的了解。

本文将讨论超纯水系统中粒子的大小分布，解释粒子计数的统计，并说明灵敏度和样品体积对粒子计数器的统计性能的影响。

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