先进制程的高纯化学品粒子污染监控概述
当下先进半导体的尺寸继续变得越来越小，在这些微小的几何形状上，杀手粒子的来源远比想象得多。单纯依靠高纯度材料制造商的分析证书(CoA)是不够的，对于通用和特殊化学品供应商而言更是如此。在生产的所有阶段，都需要对这些化学品进行连续的颗粒监测，才能够保持所需的洁净度。
参加这次网络研讨会能够了解到以下知识点:
- 运输对化学品清洁度的影响
- 用过滤守护制造过程
- 全新的液体过滤器初用指南
- 液体过滤器老化对工艺的影响
- 使用点(PoU)流程工具的化学颗粒监测选择
由PMS行业专家亲自担任讲师。
