NanoAirTM 10 是一款专用的10纳米凝结核粒子计数器，用于检测工艺工具、关键洁净室区域和加压高纯气体输送中影响产量的粒子偏移。
2022年11月15日，科罗拉多州博尔德 – NanoAir 10是PMS推出的是一款革命性的新型气溶胶纳米粒子计数器具有冷凝粒子计数器(CPC)的灵敏度和传统洁净室粒子计数器的易用性。它专为监测超洁净环境而设计，在2.8 LPM的采样流速下可达到10纳米的检测灵敏度。
新型NanoAir 10的尺寸比同类产品小83%，专为监测超洁净环境而设计，包括监测工具内部的设备前端模块(EFEM)微型环境。创新的工作流体处理系统设计坚固高效，可实现365天全天候连续运行，无需用户进行任何干预。此外，NanoAir与PMS高压扩散器HPD III配合使用时，可与高压惰性气体兼容。可使用PMS FacilityNet设备监控软件查看数据，或直接将数据传输到第三方SCADA系统或过程工具输入端。
与NanoAir 10配套使用的10端口分流板配套产品（ParticleSeeker™）可用于需要以编程顺序或假同步组合方式监测多个样品位置的应用。
PMS电子产品全球产品线经理Isidro Sanchez说：“只有PMS为您带来了10 nm专用凝结核粒子计数器，该计数器专门设计用于最关键的晶圆厂空间，现在的应用包括包括监测工具内部的设备前端模块微型环境。”他继续说道：”NanoAir 10的外形非常紧凑，ParticleSeeker是NanoAir的配套多点气溶胶采样器，可提供多达10个分布式采样点。这种功能非常适合需要对工厂内最洁净、最密闭空间内的关键表面进行编程采样点监测的广泛污染监测应用。NanoAir 实实在在地扩展了我们可靠、创新的气溶胶产品线，为我们的客户提高了产量和产出。”
关于PMS
Particle Measuring Systems, Inc. (PMS) 隶属于思百吉集团，是污染监测领域的全球技术领导者和专家，也是激光粒子计数法的发明者，目前是监测和控制多种形式污染解决方案的领先供应商，这些污染对在超洁净环境下生产的公司造成了影响。欲了解更多信息，请访问 pmeasuring.com。