液体 | 化学品和去离子水应用场景

经济型液体粒子计数器:HSLIS

HSLIS系列专为保护您的关键工艺流程而设计,可对去离子水(DI water)及工艺化学品(包括氢氟酸(HF)等腐蚀性液体)进行连续、实时的微污染监测。

Ticked bullet point 提供多种型号,满足广泛的应用需求

Ticked bullet point 经济实惠且性能卓越的解决方案

Ticked bullet point 灵敏度:在去离子水中可达0.05 µm,在化学品中可达0.065 µm

产品细节

Liquid Particle Counter
PMS product HSLIS
PMS product hslis SS for web

HSLIS计数器提供高性价比、灵活且可靠的监测方案,可及早发现污染,保障产品完整性。

多功能:多种型号可选

从超纯水到强腐蚀性化学品,HSLIS 计数器均可无缝适配各类环境,包括 Class I, Div 2防爆区域,且不会影响安全性。

  • e系列
    • M50e:灵敏度范围0.05 – 0.2 µm
    • M65e:灵敏度范围0.065 – 0.2 µm
    • M100e:灵敏度范围0.1 – 1.0 µm
  • HSLIS M65 ANSI/ISA兼容型:灵敏度范围:0.065 – 0.2 µm
  • HSLIS M65 ATEX-ANSI/ISA 兼容型:灵敏度范围:0.065 – 0.2 µm

集成数据管理

HSLIS提供全面的数据管理解决方案,实现过程控制、合规监管与可执行洞察。

  • Facility Net集中管控:与Facility Net软件无缝集成,实现全厂多台仪器的集中监测与控制。
  • 实时与历史数据可视化:通过实时曲线图、历史趋势图以及表格和 SPC(统计过程控制)图表,简化数据解读,支持趋势分析与工艺优化。
  • 自动警报与通知:内置字母数字寻呼及邮件功能,数据异常时即时通知操作人员,确保对污染事件的快速响应。
  • 灵活集成:输出接口包括以太网通信、4-20 mA信号及RS-232诊断,可与 SCADA、PLC系统或其他工业控制平台对接。
  • 自定义数据参数:用户可配置累积/差分数据、更新间隔、原始/归一化计数及各通道量程,根据具体工艺需求定制系统。

高性价比

HSLIS计数器以更低的成本实现可靠的粒子监测,为关键工艺流程提供有力保障,且无需不必要的复杂配置。

配件

FacilityNet™软件

液体安装套件

Capillary Cleaning Kit

毛细管清洁套件

下游流量控制器

气泡分离器

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