去离子水和超纯水系统的监测

超纯水颗粒计数器：Ultra DI®

Ultra DI® 计数器为半导体级超纯水系统、过滤性能验证以及先进的污染物监测提供无与伦比的精度。有助于及早发现影响良率的污染物事件。

可选型号：

Ultra DI® 20 Plus —— 可检测20纳米的颗粒，实现尖端的超纯水监测。
Ultra DI® 50 —— 检测范围更广，实现全面的污染物控制。

20nm产品规格表50nm产品规格表

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PMS product UDI 20 Plus 3 quarter from particle measuring systems

PMS product UDI 50 from particle measuring systems

PMS product FC 200 UDI 20 from particle measuring systems

专为严苛的超纯水应用而设计。

通过更快的响应速度实现最佳工艺控制，从而提高产品产量。Ultra D液体颗粒计数器系列具备突破性的性能，为超纯水监测应用树立了新标杆。

无与伦比的精度与高灵敏度

可检测20 nm颗粒，实现可靠的工艺监测。

快速检测趋势变化，从而识别并协助解决污染事件。

低零计数

低零点计数和高计数效率确保每次测量结果的可靠性

环境稳定性

在洁净室及各种工艺条件下保持准确性和可靠性，包括：

温度
湿度

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资源

Technician in a tunnel servicing industrial pipes

监测去离子水及超纯水系统

哪种粒子计数器最适合超纯水应用？

了解如何根据您的目标选择最合适的粒子计数器。本应用说明对比了各类超纯水粒子计数器及其使用影响因素。

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