20nm在线与样品监测

20nm化学品颗粒计数器：Chem 20™

使用Chem 20™化学品颗粒计数器，有效预防工艺故障和设备性能不佳：

快速应对化学变化

通过提升准确性和可靠性，降低不确定性

满足国际设备与系统路线图（IRDS）要求

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产品细节

通过防止工艺污染，提高产量并减少缺陷或产品召回。Chem 20™可提供从进料质检到使用点的在线及批量采样化学品监测。

该监测设备通过更早捕捉微小变化与污染征兆，有效降低停机风险；同时减少误报，从而缩短停机排查时间并降低调查成本。其先进的背景噪声抑制技术，更可显著提升颗粒物测量的可靠性。

凭借稳定且可重复的数据，在确保质量保证的同时，从容掌控您的生产流程。

通过泄漏检测报警功能，保护设备、人员和样品的安全。

无需再估算颗粒浓度。Chem 20™可检测气泡和样品流量下降，从而确保对样品进行准确可靠的监测，保障数据完整性。

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20nm在线批量与样品监测

了解为何20nm级灵敏度对颗粒计数至关重要，以及我们的系统如何在降耗与安全方面实现突破——详见白皮书

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