问题所在
更小的器件结构、更短的波长使用以及更高的激光功率密度,这些因素使先进元器件更易受到污染损害。
解决方案
使用我们先进的颗粒计数器,轻松监测洁净室污染物。与应用专家交流,了解我们的解决方案如何助您实现目标。
您的生产空间有多洁净?
了解如何监测生产区域的粒子产生。探索如何利用高流速实现即时结果和最佳数据质量。
接触光学元件的液体有多洁净?
了解如何监测直接接触光学元件的液体,并发现可用的在线取样和批量采样方案。
探索全面满足您独特行业需求的微污染控制方案。
选择最适合您需求的微污染监测系统。